压差标准要求
u 按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
u 不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。
u 洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa。
u 对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,洁净车间第三方检测公司,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
u 若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
洁净度的测定:
(1)施工验收规范JGJ71中规定如下
a. 每个测点少采样机3次。
b. 对于单向流洁净室采样口应朝着气流方向。对于非单向流洁净室采样口宜朝上。采样速度尽可能接近室内气流速度。即(等速采样)。测点的布置原则:每层不少于5个测点,多于5点时可分层布置。测点布置在距地0.8m高的对 角线上。
(2)洁净度测定结果的判定
a. 如实测状态(空态,静态,动态)与事先约定的状态相同,以其洁净度级别上限作为评定标准。
b. 如实测状态为空态或静态,则动态时的粒子数肯定会高,有时可用空态粒子数的5~10倍来估算动态时的尘埃粒子数。
1级洁净区:
洁净操作区的空气温度应为20-24℃
洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%
操作区的风速:水平风速≥0.54m/s
垂直风速≥0.36m/s
过滤器的检漏大于99.97%
照度:>300lx-600lx
噪音:≤75db(动态测试)
B级洁净区:
洁净操作区的空气温度应为20-24℃
洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%
房间换气次数:≥25次/h
压差:B级区相对室外≥10Pa,同一级别的不同区域按气流流向应保持一定的压差。过滤器的检漏大于99.97%
照度:>300lx-600lx
噪音:≤75db(动态测试)
C级洁净区:
洁净操作区的空气温度应为20-24℃
洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%
房间换气次数:≥25次/h
压差:C级区相对室外≥10Pa,同一级别的不同区域按气流流向应保持一定的压差。过滤器的检漏大于99.97%
照度:>300lx-600lx
噪音:≤75db(动态测试)
D级洁净区:
洁净操作区的空气温度应为18-26℃
洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%
房间换气次数:≥15次/h
压差:100,000级区相对室外≥10Pa,
过滤器的检漏大于99.97%
照度:>300lx-600lx
噪音:≤75db(动态测试)
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